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Siliziumstrukturen

Siliziumstrukturen

Unsere Erfahrung im Bereich der Strukturierung von Silizium ermöglicht es uns komplexe Siliziumbauteile zu realisieren. Als Basis dient die Strukturierung durch nasschemische Ätzprozesse oder durch trockenchemische Plasmaätzprozesse. Hiermit lassen sich Vertiefungen oder Stege mit senkrechtem, schrägem oder konkavem Seitenwandprofil herstellen. Durch Kombination unterschiedlicher Prozesse von einer oder beiden Seiten auf dem Siliziumsubstrat, können wir sehr komplexe Geometrien realisieren. Auch komplett durch das Substrat reichende Strukturierungen sind möglich. Durch den Einsatz von SOI Substraten lassen sich sehr geringe Dickentoleranzen von ca. 300 nm erreichen. Designs die mit trockenchemischem Ätzen in das Silizium übertragen werden, können in weiten Bereichen frei gestaltet werden. Beim nasschemischen Ätzen lassen sich orthogonal zueinander liegende Strukturen sehr gut realisieren. Durch die Kombination mit weiteren Fertigungsprozessen, wie der Erzeugung von Membranen, der Dotierung oder der Metallisierung, um nur wenige zu nennen, können wir vielfältige Funktionen integrieren. Beispielsweise können so mechanische Verformungen elektrisch detektierbar werden, heizbare Bereiche eingebaut oder Elektroden hinzugefügt werden. Besondere Eigenschaften des einkristallinen Siliziums sind seine Resistenz gegenüber den meisten chemischen Substanzen, kein Verzug unter thermischer Belastung und ein hoher thermischer Einsatzbereich. Durch seine hohe chemisch Stabilität ist Silizium auch für biologische Anwendungen sehr gut geeignet. Anwendung: Mehrstufige Siliziumteile finden Ihre Anwendung beispielsweise in der Elektronenoptik, wo sie in Kombination mit galvanisch abgeschiedenen Metallen (z.B. Gold) sehr präzise Elektrodenstrukturen bilden. Auch optische Bauteile lassen sich aus Silizium fertigen. So bieten präzise Blenden aus Silizium gegenüber strukturierten Metallisierungen auf Glas den Vorteil, dass keine Grenzflächenreflexe beim Lichteintritt auftreten und im Bereich Deep UV kein absorbierendes Material vorhanden ist. Für biologische oder medizinische Anwendungen eignet sich Silizium aufgrund seiner chemischen Stabilität. Heißprägeformen oder Master dafür können mit diesem Verfahren ebenfalls leicht angefertigt werden. Spezifikationen: Die exakt erreichbaren Spezifikationen hängen von Designparametern wie Bauteilhöhe, Strukturgröße und Zahl der Ebenen ab. Daher können hier nur Orientierungswerte angegeben werden. Aspektverhältnis für senkrechte Strukturen: Bis zu 15 Seitenwandwinkel für senkrechte Strukturen: 90° +- 1° Seitenwandwinkel für schräge Strukturen: typ. 54,7° Strukturtreue bei Strukturtiefen von ca. 0-50 µm: <1µm Strukturtreue bei Strukturtiefen von 100-1000µm: ca. 2-10µm Strukturgrößen: ab ca. 500 nm Positionstoleranz innerhalb einer Ebene: <1µm Positionstoleranz von Ebene zu Ebene: <2µm Ebenheit: <0,3 µm / mm Bauteildicken: ~1µm – 1 mm Temperaturbereich: bis ca. 1000°C
3D-Konstruktion

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3D-DESIGN

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3D Konstruktion

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Zeichnungsteile, Sonderteile, Sonderanfertigungen, Drehteile, Sonderwerkstoffe, Gewinde, Außengewinde

Zeichnungsteile, Sonderteile, Sonderanfertigungen, Drehteile, Sonderwerkstoffe, Gewinde, Außengewinde

Zeichnungsteile, Sonderteile, Verbindungselemente, Außengewinde, Innengewinde, Lohnarbeit, Drehen, Sonderanfertigungen, Sonderschrauben Wir sind Ihr Kompetenter Ansprechpartner für: Verbindungsteile DIN- und Normteile nach Maß/ nach Zeichnung/ nach Vorgaben Drehteile nach Maß/ nach Zeichnung/ nach Vorgaben Drehteile, amagnetische Drehteile aus Edelstahl Drehteile aus Hastelloy® Drehteile aus Kupferlegierungen Drehteile aus Messing Drehteile aus rostfreiem Material Drehteile aus Stahl Drehteile aus verschiedenen Werkstoffen Drehteile für den Maschinenbau Muttern Muttern aus Kunststoff Muttern, blanke Schrauben Schrauben, abnorme Schrauben aus Chrom-Nickel-Stahl Schrauben aus Hastelloy® Schrauben aus hitze- und korrosionsbeständigen Werkstoffen Schrauben aus Inconel® Schrauben aus NE-Metallen Schrauben aus Sonderstählen Schrauben aus Sonderwerkstoffen Schrauben, blanke Schrauben, feuerverzinkte Schrauben für Turbinen Schrauben, gedrehte Schrauben mit Innensechskant Sechskantmuttern Verbindungselemente Verbindungselemente für die Luft- und Raumfahrtindustrie Zylinderkopfschrauben Baugruppen aus Drehteilen CNC-5-Achsen-Drehteile CNC-Außenrundschleifen CNC-Dreharbeiten im Lohn CNC-Drehteile CNC-Drehteile aus Edelmetallen CNC-Drehteile aus Kunststoff CNC-Drehteile aus Sonderwerkstoffen CNC-Drehteile aus Stahl CNC-Drehteile aus Titan CNC-Drehzentren Dienstleistungen für die Industrie Drehereien für Kleinserien Drehteile aus Tantal Drehteile aus Titan Drehteile für den Fahrzeugbau Drehteile für die Armaturenindustrie Drehteile für die Luft- und Raumfahrtindustrie Drehteile für Hydraulik Drehteile für Motorräder Drehteile für Waffen Drehteile mit Innensechskant Drehteile nach Zeichnung Edelstahl Gewindebolzen Gewindebolzen aus Titan Gewindestifte Kleindrehteile Lohnarbeiten auf CNC-Bearbeitungszentren Lohnarbeiten für die Metallindustrie Lohnarbeiten mit Landmaschinen Lohndrehereien Lohnfertigung Lohnfertigungen (in Ostasien) Lohnfertigungen (in Osteuropa) Maschinenbau Maschinenbauindustrie Maschinenbauteile Maschinenbauteile im Lohn Metallbearbeitung Metallverarbeitung Muttern, hitzebeständige Muttern, hochfeste Muttern, rohe Muttern, rost- und säurebeständige Muttern, selbstsichernde Normteile aus Edelstahl Normteile aus Kunststoff Normteile für den Vorrichtungsbau Normteile für die Industrie Normteile für die Luft- und Raumfahrtindustrie Passschrauben Präzisionsschrauben Präzisionsteile Präzisionsteile aus Metall Präzisionsteile aus NE-Metallen Präzisionsteile aus Sonderwerkstoffen Präzisionsteile für den Maschinenbau Präzisionsteile für den Sondermaschinenbau Präzisionsteile für die Luft- und Raumfahrt Präzisionsteile in Sonderanfertigung für die Metallverarbeitung Rundschleifen (Dienstleistung) Rundschleifen, spitzenloses Scheibenmuttern Schrauben aus Kunststoff Schrauben für die Medizintechnik Schrauben, hochfeste Sechskantmuttern aus Edelstahl Sechskantmuttern aus Messing Sechskantschrauben Sechskantschrauben, rost- und säurebeständige Sonderschrauben Sonderteile nach Zeichnung Sonderwerkstoffe Sonderwerkstoffe aus NE-Metallen Stanzteile Stanzteile aus Metall Stanzteile aus NE-Metallen Stud bolts (Sonderschrauben) Unterlegscheiben Unterlegscheiben, abnorme Unterlegscheiben aus hochfestem Stahl Unterlegscheiben aus Nylon Unterlegscheiben aus Titan Unterlegscheiben, rost- und säurebeständige Verbindungselemente aus Edelstahl Verschlussschrauben Verschlussschrauben, magnetische Zeichnungsteile Zeichnungsteile aus Aluminium Zeichnungsteile aus Kunststoff Zerspanung für Kleinserien Zerspanung im Lohn Zerspanungstechnik Zylinderkopfschrauben, hochfeste Lohnfertigung Drehen Lohnfertigung Schrauben Lohnfertigung Muttern Lohnfertigung Scheiben Großserien Kleinserien Gewinde NF Mutter TF Mutter Karosseriescheiben Feingewinde Passschrauben Gewindestifte Gewindebolzen Kegelstifte Ankermuttern Verschlussschrauben Zylinderschrauben Vierkantschrauben Augenschrauben Zapfenschrauben Kronenmuttern Zeichnungsteile Senkkopfschrauben Bolzen mit Kopf Einschraubzapfen Überwurfmuttern Zylinderstifte Kegelstifte Flache Muttern Stiftschraube Ankerschrauben Sonderschrauben Senkkopfschrauben Verbindungsteile Sonderwerkstoff Zeichnungsteile Normteile Schraubenbolzen mit Dehnschaft Bundmuttern Sicherungsmuttern Unterlegscheiben Gewindestangen Stifte Lohnfertigung Gewinderollen Schrauben aus Nitronic DIN125 DIN912 DIN906 DIN7991 DIN908 DIN913 DIN934 ISO4032 DIN935 DIN976 DIN980 DIN1440 ISO7089 ISO7791 ISO7090 DIN963 DIN444 DIN2510 DIN931 DIN933 DIN910 ISO4014 ISO4017 DIN938 DIN939 ASTME Größen M5 M6 M7 M8 M9 M10 M11 M12 M13 M14 M15 M16 M17 M18 M19 M20 M21 M22 M23 M24 M25 M26 M27 M28 M29 M30 M31 M32 M33 M34 M35 M36 M37 M38 M39 M40 M41 M42 M43 M44 M45 M46 M47 M48 M49 M50 M51 M52 M53 M54 M55 M56 M57 M58 M59 M60 M61 M62 M63 M64
Siebdruck

Siebdruck

Traditionelles Druckverfahren für unterschiedliche Materialien Seit 1920 wird der Siebdruck zur Bedruckung im Bereich Werbung, Beschriftung und zur industriellen Anwendung benutzt. Von der Idee zum Musterstück und zur Auflage stehen wir Ihnen mit Rat und Tat zur Seite. Wir drucken auf: unterschiedliche Folien pulverbeschichtete Oberflächen Acrylglas Aluminium Edelstahl Polycarbonat Hart PVC u. v. m. Unsere Druckprodukte umfassen u. a.: Aufkleber Bedienblenden Tastaturfolien Gerätebezeichnungen Druckversion